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Agilent 2 I/s 9130045 Vacuum User Manual PDF

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Summary of Content for Agilent 2 I/s 9130045 Vacuum User Manual PDF

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps

Miniature Models: 9130037, 9130038, 9130040, 9130041, 9130049, 9130050 Magnet: 9130042 2 l/s Models: 9130032, 9130034, 9130035, 9130045, 9130046, 9130047, 9130052, 9135000. Magnet: 9130011

Manuale di Istruzioni Bedienungshandbuch Notice de Mode DEmploi User Manual 87-400-044-01 (F)

03/2016

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

Notices Agilent Technologies, Inc. 2016

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Manual Part Number Publication Number: 87-400-044-01 (F)

Edition Edition 03/2016

Printed in ITALY

Agilent Technologies Italia S.p.A.

Vacuum Products Division

Via F.lli Varian, 54

10040 Lein (TO)

ITALY

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WARNING

CAUTION

Miniature pumps

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Miniature pumps

2 l/s VacIon pumps

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2 l/s VacIon pumps

Contents

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Contents

1 Istruzioni per luso 7

Informazioni di Sicurezza 8

Informazioni Generali 9

Installazione 11

Note di Funzionamento 13

Condizioni di Funzionamento Anomale 15

Smaltimento 17

2 Gebrauchsanleitung 19

Sicherheitshinweise 20

Allgemeine Hinweise 21

Installation 23

Funktionsweise 25

Betriebsstrungen 27

Entsorgung 29

3 Mode demploi 31

Informations sur la Scurit 32

Indications Gnrales 33

Installation 35

Notes de Fonctionnement 37

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Conditions de Fonctionnement Anormales 39

Mise au Rebut 41

4 Instructions for Use 43

Safety Information 44

General Information 45

Installation 47

Operating Notes 49

Unusual Operating Conditions 51

Disposal 52

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual

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1 Istruzioni per luso

Informazioni di Sicurezza 8 Informazioni Generali 9 Installazione 11 Collegamento dellunit di controllo 12 Note di Funzionamento 13 Operazione di bakeout 14 Condizioni di Funzionamento Anomale 15 Bassa corrente 15 Alta corrente 15 Smaltimento 17 Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per luso Informazioni di Sicurezza

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Informazioni di Sicurezza Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.

AVVERTENZA!

I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per luso Informazioni Generali

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Informazioni Generali Queste istruzioni contengono informazioni di base per linstallazione e luso delle Pompe Miniature e 2 l/s VacIon.

La seguente tabella elenca i modelli disponibili:

Tab. 1

MODELLO P/N Miniature

Con tubo in rame 180 913-0037 Con tubo in rame 90 913-0040 Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8 OD 180 913-0038 Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8 OD 90 913-0041 Con tubo in rame da 3/8 OD 180 , preparata sotto vuoto 913-0049 Con tubo in rame da 3/8 OD 90 , preparata sotto vuoto 913-0050 Magnete in Alnico 913-0042

2 l/s Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4 OD 180 913-0032 Con tubo in Kover-glass da 3/4 OD 913-0034 Con tubo in rame da 3/4 OD 180 , preparata sotto vuoto 913-0035 Con tubo in acciaio inossidabile corto da 3/4 OD 913-0047 Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4 OD 180 , preparata sotto vuoto 913-0045 Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4 OD 90 a T 913-0046 Con tubo in rame OFHC da 3/4 OD 913-0052 Con flangia 1 1/3 CF 180 preparata sotto vuoto 913-5000 Magnete in Alnico 913-0011

1 Istruzioni per luso Informazioni Generali

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Il sistema di pompaggio completo comprende La pompa VacIon, il suo magnete, ed un alimentatore. Queste pompe VacIon funzionano sul principio getter nel campo da 10-3 Torr a meno di 10-9 Torr. Per portare il sistema dalla pressione a meno di 10-3 Torr, necessaria una pompa di prevuoto.

La pompa deve essere alimentata tramite una tensione positiva di 3000-3500 Volt (a circuito aperto). La corrente di alimentazione e quella di corto circuito fornita dallalimentatore devono corrispondere alla corrente assorbita dalla pompa alla sua massima pressione di esercizio.

Istruzioni per luso Installazione

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Installazione Durante linstallazione, mantenere la pompa ed il sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che saranno sotto vuoto. Quando la pompa aperta allaria, far attenzione a non introdurre particelle estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi sostanza volatile. Pulire accuratamente il sistema prima del collegamento della pompa. Una pulizia del sistema del vuoto con prodotti chimici sarebbe il metodo pi completo; tuttavia non utilizzarlo quando sono presenti cavit e fessure che impediscano il risciacquo

Normalmente sufficiente uno sgrassaggio con acetone o metanolo ed un successivo risciacquo con acqua.

Per ottenere la massima velocit di pompaggio collegare la pompa al sistema con un tubo il pi corto ed il pi largo possibile.

Per lavorazioni in ultra vuoto, le giunzioni devono essere saldate con gas inerte (TIG), brasate con idrogeno o sotto vuoto.

Le guarnizioni nel sistema devono essere di metallo morbido tipo rame ricotto, alluminio o oro.

Dopo che la pompa stata sigillata nel sistema, ricontrollare che lintero sistema non presenti perdite.

Fissare il magnete alla relativa staffa della pompa tramite le viti in dotazione.

1 Istruzioni per luso Installazione

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Collegamento dellunit di controllo

WARNING!

Le tensioni generate dallunit di controllo ed utilizzate dalle pompe VacIon sono potenzialmente letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il collegamento di massa sia realizzato correttamente.

Collegare lunit di controllo alla pompa come segue:

1 Collegare la pompa alla massa dellalimentatore sistemando la molletta di massa sul passante della pompa prima di collegare il cavo di alta tensione. Con i cavi provvisti di filo di massa, collegare il filo di massa ad una massa del sistema.

2 Lalimentatore si collega a massa attraverso il suo cavo di alimentazione. Perci, per assicurare un circuito completamente collegato a massa, la spina a tre poli del cavo di alimentazione deve essere inserita in una presa con collegamento di terra. Non utilizzare prese di adattamento che non permettano la chiusura del circuito di terra.

Istruzioni per luso Note di Funzionamento

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Note di Funzionamento Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas mediante una scarica confinata magneticamente (cella Penning). Una tensione di circa 3 kV viene applicata allanodo mentre i catodi sono mantenuti a massa. Un campo magnetico assiale di circa 1200 gauss impedisce che gli elettroni giungano direttamente allanodo. Un isolante schermato isola lanodo dal potenziale di terra. Nel funzionamento corretto della pompa VacIon (con il magnete installato), la corrente assorbita proporzionale alla pressione (vedere la figura seguente).

Figura 1Curva pressione-corrente

Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione inferiore ai 10-2 Torr, si pu avviare la pompa semplicemente accendendo lunit di controllo. Lavvio della pompa viene indicato dalla presenza di un assorbimento di corrente da parte dellunit di controllo.

NOTA Prima di scollegare il cavo dellalimentatore attendere sempre almeno 30 secondi dallo spegnimento dellalta tensione in modo da permettere che il condensatore dellalimentatore si scarichi adeguatamente.

1 Istruzioni per luso Note di Funzionamento

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Operazione di bakeout Quando una pompa VacIon non raggiunge la pressione base desiderata e non ci sono perdite, necessario eseguire un bakeout del sistema per eliminare il vapore acqueo. Questa operazione viene eseguita riscaldando la pompa e tutti gli elementi del sistema.

1 Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per mezzo di un forno o elementi riscaldanti ad una temperatura tra 150 e 250 C (250 C la massima temperatura sopportata da molti cavi di alta tensione). Questa temperatura abbastanza elevata in modo da degassare le superfici della pompa dal vapore acqueo senza danneggiare il magnete ed il connettore dellalta tensione. Occorre fare attenzione che gli altri componenti del sistema sopportino la temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento deve essere il pi possibile uniforme su tutte le superfici per evitare che il vapore si ricondensi sulle parti pi fredde impedendo cos il raggiungimento di valori elevati di vuoto.

2 Lasciare accesa lunit di controllo e controllare che la pressione non superi il valore di 5x10-5 Torr (mbar). Nel caso in cui si superi il suddetto valore, occorre spegnere il riscaldatore e riaccenderlo quando si ripristinata la bassa pressione. Per controllare i riscaldatori ed i valori di pressione in modo automatico durante il riscaldamento, occorre utilizzare un rel sensibile alla pressione.

3 Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore. Periodi pi lunghi di riscaldamento sono necessari quando la pompa deve essere usata con carichi di gas pesanti, o quando si desiderano valori di vuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o inferiori.

4 A mano a mano che la pompa ed il sistema ritornano alla temperatura ambiente, si deve osservare un abbassamento della pressione.

5 Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche c anche la possibilit del loro impiego per processare sotto vuoto altri componenti. Poich il passante di alta tensione pu sopportare un numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a 400 C), si raccomanda di limitare tali cicli al minimo possibile, per aumentare la durata di vita della pompa stessa.

Istruzioni per luso Condizioni di Funzionamento Anomale

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Condizioni di Funzionamento Anomale

Bassa corrente Se il valore di corrente letto inferiore a quello normale per quel dato valore di pressione (vedere il diagramma precedente), la scarica si potrebbe essere fermata.

Per verificare se la scarica si fermata, rimuovere il magnete ed osservare la corrente residua. Se la corrente non cambia con e senza il magnete, non in corso alcuna scarica nella pompa.

a Per riavviare la scarica, colpire il corpo pompa con un attrezzo di plastica morbida, o riscaldarlo localmente con un piccolo saldatore. In questo modo si libera del gas dalla superficie allinterno della pompa e la scarica dovrebbe riprendere. NON COLPIRE MAI la pompa con un attrezzo metallico.

b Se il campo magnetico scende sotto il suo valore di targa, la scarica della pompa e la velocit si ridurranno e la scarica potrebbe spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7 Torr.

Alta corrente Se il valore di corrente letto superiore a quello normale per quel dato valore di pressione (vedere il diagramma precedente), controllare quanto segue:

a Che il cavo dellalta tensione non sia in corto circuito. Riparare o sostituire.

b Che non ci sia una dispersione allinterno dellunit di controllo. Riparare secondo quanto indicato sul relativo manuale.

c Che non ci sia un corto circuito sugli isolatori di supporto dellanodo causato da frammenti di film di Titanio. Colpire la pompa come descritto al passo a) del paragrafo precedente potrebbe porre rimedio a questa situazione.

1 Istruzioni per luso

Condizioni di Funzionamento Anomale

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d Che non ci sia una emissione di corrente da punte che si siano formate sui catodi. Applicare alla pompa una tensione tra 5 e 6 kV ac con una corrente tra 20 e 30 mA tra 5 e 20 secondi per bruciare le punte.

e Che non ci siano rivestimenti di film metallici conduttori sugli isolatori a causa di un funzionamento sopra i 10-2 Torr per elevati periodi di tempo. Poich non possibile smontare la pompa, questa condizione causa di una limitazione del tempo di vita della pompa. Evitare di usare la pompa ad alte pressioni per lunghi periodi.

Istruzioni per luso Smaltimento

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Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 17/58

Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE".

Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunit Europea) indica che il prodotto sul quale applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita.

Per maggiori informazioni riferirsi a:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

1 Istruzioni per luso Smaltimento

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Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual

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2 Gebrauchsanleitung

Sicherheitshinweise 20 Allgemeine Hinweise 21 Installation 23 Anschluss des Controllers 24 Funktionsweise 25 Bakeout 26 Betriebsstrungen 27 Stromstrke zu niedrig 27 Stromstrke zu hoch 27 Entsorgung 29 bersetzung der Originalanleitungen

2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise

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Sicherheitshinweise Dieses Gert ist fr den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von Agilent mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei vollstndiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Hinweise, unsachgemem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der einschlgigen nationalen Bestimmungen bernimmt Firma Agilent keinerlei Haftung.

In diesem Handbuch werden bestimmte Textstellen wie folgt hervorgehoben:

VORSICHT! Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen darauf aufmerksam, dass bei Nichteinhaltung Schden am Gert entstehen knnen.

WARNUNG!

Die Warnhinweise richten die Aufmerksamkeit auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausfhrung schwere Personenschden zur Folge haben knnte.

HINWEIS Die HINWEISE enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden.

Gebrauchsanleitung Allgemeine Hinweise

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Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 21/58

Allgemeine Hinweise Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.

In der Tabelle werden die erhltlichen Modelle aufgefhrt:

Tab. 1

MODELL P/N Miniatur

Mit Rohr in Kupfer 180 913-0037 Mit Rohr in Kupfer 90 913-0040 Mit Rohr in Edelstahl 3/8 OD 180 913-0038 Mit Rohr in Edelstahl 3/8 OD 90 913-0041 Mit Rohr in Kupfer 3/8 OD 180 , mit Vorvakuum 913-0049 Mit Rohr in Kupfer 3/8 OD 90 , mit Vorvakuum 913-0050 Magnet in Alnico 913-0042

2 l/s Mit Rohr in Edelstahl 3/4 OD 180 913-0032 Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD 913-0034 Mit Rohr in Kupfer 3/4 OD 180 , mit Vorvakuum 913-0035 Mit Rohr in Edelstahl 3/4 OD 180 , mit Vorvakuum 913-0045 Mit Rohr in Edelstahl 3/4 OD 90 T-Anschluss 913-0046 Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4 OD 913-0047 Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4 OD 913-0052 Mit Flansch 1 1/3 CF 180 , mit Vorvakuum 913-5000 Magnet in Alnico 913-0011

2 Gebrauchsanleitung Allgemeine Hinweise

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Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon Pumpe, deren Magneten und ein Netzgert. Diese Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip im Bereich von 10-3 Torr bis unter 10-9 Torr. Um das System auf unter 10-3 Torr zu bringen, ist eine Vorvakuumpumpe erforderlich.

Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000 - 3.500 Volt (im offenen Schaltkreis) zu versorgen. Die Versorgungsspannung und die vom Netzgert gelieferte Kurzschlussspannung sollen der Stromaufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Arbeitsdruck entsprechen.

Gebrauchsanleitung Installation

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Installation Bei der Installation sind die Pumpe und das System sauber zu halten. Die Berhrung von Oberflchen, die unter Vakuum sein werden, ist zu vermeiden. Bei geffnetem Zustand der Pumpe ist darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, l, Ltflussmittel oder flchtige Substanzen eindringen. Vor Anschluss der Pumpe ist das System grndlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vakuumsystems mit chemischen Produkten wre hierbei die beste Methode; sie sollte allerdings nicht bei Vorhandensein von Hohlrumen und Spalten angewendet werden, die das Aussplen verhindern.

In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Methanol und das anschlieende Splen mit Wasser ausreichend.

Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzielen, ist die Pumpe ber eine mglichst kurze und breite Leitung an das System anzuschlieen.

Fr den Hchstvakuumbetrieb sollen die Verbindungen mit Inertgas geschweit (WIG) und wasserstoff- oder vakuumgeltet sein.

Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall wie geglhtes Kupfer, Aluminium oder Gold sein.

Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde, ist das gesamte System auf Leckstellen zu berprfen.

Den Magneten an den hierfr vorgesehenen Bgel der Pumpe mit den mitgelieferten Schrauben befestigen.

2 Gebrauchsanleitung Installation

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Anschluss des Controllers

WARNUNG!

Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell tdlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbeiten zu gewhrleisten, ist sicherzustellen, dass der Masseanschluss vorschriftsgem ausgefhrt ist.

Den Controller wie folgt an die Pumpe anschlieen:

1 Die Pumpe an den Masseanschluss des Netzgertes anschlieen, wobei die Masseanschlussfeder am Hochspannungsverbinder der Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspannungskabel angeschlossen wird. Bei den Kabeln, die mit einem Masseleiter versehen sind, ist der Masseleiter an einen Masseanschlusspunkt des Systems anzuschlieen.

2 Das Netzgert wird ber sein Versorgungskabel an die Masse angeschlossen. Damit der Stromkreis vollstndig an die Masse angeschlossen ist, muss der dreipolige Stecker des Versorgungskabels an eine geerdete Steckdose angeschlossen sein. Es drfen keine Adaptersteckdosen verwendet werden, die keine Schlieung des Erdungskreises zulassen.

Gebrauchsanleitung Funktionsweise

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Funktionsweise Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung infolge einer magnetisch abgegrenzten Entladung (Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung von ungefhr 3 kV angelegt, whrend die Katoden an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales Magnetfeld von ungefhr 1.200 Gauss verhindert, dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. Ein abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom Erdungspotenzial. Bei ordnungsgemem Betrieb der Vaclon Pumpe (mit dem installierten Magnet) ist die Stromaufnahme proportional zum Druck (siehe nachstehende Abbildung).

Abbildung 1Druck-Stromstrke-Diagramm

Nachdem das System einen Druck unter 10-2 Torr erreicht hat, ist es mglich, die Pumpe lediglich durch Einschalten des Controllers zu starten. Der Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch den Controller erkenntlich.

HINWEIS Bevor das Kabel des Netzgertes abgetrennt wird, sind stets mindestens 30 s nach Abschaltung der Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kondensator des Netzgertes entsprechend entladen kann.

2 Gebrauchsanleitung Funktionsweise

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Bakeout Wenn eine VacIon Pumpe den gewnschten Basisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-zufhren, um den Wasserdampf zu beseitigen. Dieser Vorgang erfolgt unter Erwrmung der Pumpe und aller Systemelemente.

1 Den Pumpenkorpus und das System mit ei-nem Ofen oder Heizelementen auf eine Temperatur zwischen 150 und 250 C erhitzen (250 C ist die maximal zulssige Temperatur vieler Hochspannungskabel). Diese Temperatur ist ausreichend, um die Oberflchen der Pumpe von Wasserdampf zu entgasen, ohne den Magneten oder den Hochspannungsverbinder zu beschdigen. Es ist darauf zu achten, dass die anderen Systemkomponenten der Erwrmungstemperatur standhalten. Die Erwrmung soll mglichst gleichmig auf allen Oberflchen erfolgen, damit der Dampf nicht an den klteren Teilen kondensiert und das Erreichen hoher Vakuumwerte verhindert.

2 Den Controller eingeschaltet lassen und kontrollieren, dass der Druck nicht 5x10-5 Torr (mbar) bersteigt. Falls dieser Wert berschritten wird, ist das Heizgert auszuschalten und erneut einzuschalten, wenn der Unterdruckbereich wieder hergestellt ist. Zur automatischen Kontrolle der Heizgerte und Druckwerte whrend der Erwrmung ist ein druckempfindliches Relais zu benutzen.

3 Die Vaclon Pumpe ber einen Zeitraum von mindestens 8 Stunden erwrmen. Lngere Erwrmzeiten sind erforderlich, wenn die Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden soll oder Hchstvakuumwerte (10-9 Torr [mbar]) oder niedriger erreicht werden sollen.

4 Im Zuge der Abkhlung der Pumpe und des Systems auf die Umgebungstemperatur muss auch ein Druckabfall entstehen.

5 Zu den verschiedenen Einsatzmglichkeiten der Ionenpumpen zhlt auch die Vakuumerzeugung in anderen Komponenten. Da Hochspannungsverbinder nur einer begrenzten Anzahl von Erwrmungszyklen (bis zu 400 C) standhalten, sollten diese Zyklen auf ein Mindestma beschrnkt werden, um die Standzeit der Pumpe zu verlngern.

Gebrauchsanleitung Betriebsstrungen

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Betriebsstrungen

Stromstrke zu niedrig Wenn die angezeigte Stromstrke unter dem Normwert fr den betreffenden Druck liegt (siehe vorhergehendes Diagramm), knnte die Entladung gestoppt sein.

Um zu berprfen, ob die Entladung gestoppt ist, ist der Magnet zu entfernen und die Reststromstrke zu beobachten. Wenn die Stromstrke sich weder mit noch ohne Magneten verndert, findet keine Pumpenentladung statt.

a Zur erneuten Entladungsaktivierung, ist mit einem weichen Kunststoffwerkzeug gegen den Pumpenkorpus zu schlagen oder der Pumpenkorpus lokal mit einem kleinen Schweigert zu erhitzen. Auf diese Weise lst sich Gas von den Innenflchen der Pumpe und msste die Entladung wieder aufgenommen werden. Gegen die Pumpe darf NIEMALS mit einem metallenen Werkzeug GESCHLAGEN werden.

b Wenn das Magnetfeld unter den Kennschildwert sinkt, verringern sich die Pumpenentladung und -geschwindigkeit, hierbei knnte die Entladung bei einem Druck unter 1x10-7 Torr aussetzen.

Stromstrke zu hoch Wenn die angezeigte Stromstrke ber dem Normwert fr den betreffenden Druck liegt (siehe vorhergehendes Diagramm), sind folgende Kontrollen auszufhren:

a Das Hochspannungskabel darf nicht kurzgeschlossen sein. Reparieren oder auswechseln.

b Im Controller darf kein Leckstrom vorhanden sein. Gem der Angaben aus dem diesbezglichen Handbuch reparieren.

2 Gebrauchsanleitung

Betriebsstrungen

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c An den Hilfsisolatoren der Anode darf kein Kurzschluss durch Titanfolienteile anliegen. Wie unter Schritt a) des vorhergehenden Abschnitts gegen die Pumpe schlagen, was die- ses Problem beheben knnte.

d Es darf keine Stromabgabe durch Spitzen erfolgen, die sich an den Katoden gebildet haben. An die Pumpe eine Spannung zwischen 5 und 6 kV ac mit einer Stromstrke zwischen 20 und 30 mA ber einen Zeitraum von 5 und 20 s anlegen, um die Spitzen abzubrennen.

e An den Isolatoren drfen keine Metallfilmbelge vorhanden sein, die infolge eines lngeren Betriebs bei einem Druck ber 10-2 Torr entstehen. Da die Pumpe nicht demontiert werden kann, bewirkt dies eine krzere Standzeit des Gertes. Die lngerfristige Benutzung der Pumpen bei hohen Drcken ist zu vermeiden.

Gebrauchsanleitung Entsorgung

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Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten.

Das folgende Symbol ist in bereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht.

Dieses Symbol (nur in den EU-Lndern gltig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugefhrt werden muss.

Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Gerts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprft hat.

Fr weitere Informationen:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

2 Gebrauchsanleitung Entsorgung

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3 Mode demploi

Informations sur la Scurit 32 Indications Gnrales 33 Installation 35 Branchement de l'unit de contrle 36 Notes de Fonctionnement 37 Opration de bakeout 38 Conditions de Fonctionnement Anormales 39 Courant faible 39 Courant lev 39 Mise au Rebut 41 Traduction de la mode demploi originale

3 Mode demploi Informations sur la Scurit

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Informations sur la Scurit Cet appareillage a t conu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseill l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication fournie par Agilent avant d'utiliser l'appareil. Agilent dcline par consquent toute responsabilit en cas de non-respect total ou partiel des instructions fournies, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non form, d'oprations non autorises ou d'un emploi contraire aux rglementations nationales spcifiques.

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

ATTENTION! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procdures dont le non- respect peut endommager srieusement l'appareillage.

AVERTISSEMENT!

Les messages davertissement attirent l'attention de l'oprateur sur une procdure ou une manuvre spciale dont la mauvaise excution risque de provoquer de graves lsions au personnel.

NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, extrapols du texte.

Mode demploi Indications Gnrales

3

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 33/58

Indications Gnrales Ces instructions contiennent des informations de base pour l'installation et l'utilisation des pompes miniature et 2 l/s Vaclon.

Le tableau ci-dessous numre les modles disponibles :

Tab. 1

MODLE P/N Miniature

Avec tuyau en cuivre 180 913-0037 Avec tuyau en cuivre 90 913-0040 Avec tuyau en acier inoxydable de 3/8 E 180 913-0038 Avec tuyau en acier inoxydable de 3/8 E 90 913-0041 Avec tuyau en cuivre de 3/8 E 180 , prpare sous vide 913-0049 Avec tuyau en cuivre de 3/8 E 90 , prpare sous vide 913-0050 Aimant en Alnico 913-0042

2 l/s Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4 E 180 913-0032 Avec tuyau en Kover-glass 3/4 E 913-0034 Avec tuyau en cuivre de 3/4 E 180 , prpare sous vide 913-0035 Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4 E 180 , prpare sous vide 913-0045 Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4 E 90 en T 913-0046 Avec tuyau courte en acier inoxydable de 3/4 E 913-0047 Avec tuyau en cuivre OFHC de 3/4 E 913-0052 Avec flasque 1 1/3 CF 180 prpare sous vide 913-5000 Aimant en Alnico 913-0011

3 Mode demploi Indications Gnrales

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Le systme de pompage complet comprend: la pompe Vaclon, son aimant et un alimentateur. Cette pompe Vaclon fonctionne sur le principe getter dans une plage de 10-3 Torr moins de 10-9 Torr. Pour porter le systme de la pression moins de 10-3 Torr, il est ncessaire de disposer d'une pompe de prvide.

La pompe doit tre alimente avec une tension positive de 3000 3500 Volts ( circuit ouvert). Le courant d'alimentation et le courant de court-circuit fournis par l'alimentateur doivent correspondre au courant absorb par la pompe sa pression d'exercice maximum.

Mode demploi Installation

3

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Installation Pendant l'installation, maintenir la pompe et le systme propres. viter de toucher les parties qui seront sousvide. Lorsque la pompe est ouverte l'air libre, faire attention de ne pas y introduire de particules trangres, huile, fondant de soudage ou toute autre substance volatile. Nettoyer soigneusement le systme avant le montage de la pompe. Un nettoyage du systme du vide l'aide de produits chimiques serait la mthode la plus complte. Il est cependant conseill de ne pas l'utiliser en prsence de cavits ou de fissures empchant le rinage.

Normalement un dgraissage l'actone ou au mthanol suivis d'un rinage l'eau sont suffisants.

Pour atteindre la vitesse maximale de pompage, relier la pompe au systme l'aide du tuyau le plus court et le plus large possible.

Pour les oprations sous vide ultra pouss, les joints doivent tre souds au gaz inerte (TIG), et soumis un brasage l'hydrogne ou sousvide.

Les joints du systme doivent tre en mtal souple de type cuivre recuit, aluminium ou or.

Aprs le scellage de la pompe dans le systme, recontrler que l'ensemble ne prsente aucune fuite.

Fixer l'aimant la bride de la pompe l'aide des vis fournies.

3 Mode demploi Installation

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Branchement de l'unit de contrle

AVERTISSEMENT!

Les tensions gnres par l'unit de contrle et utilises par les pompes Vaclon sont potentiellement mortelles. Pour oprer en toute scurit, vrifier que le branchement la masse soit correctement ralis.

Relier l'unit de contrle la pompe en oprant de la faon suivante :

1 Relier la pompe la masse de l'alimentateur en plaant la molette de masse sur le passant de la pompe avant de brancher le cble de haute tension. En prsence de cbles pourvus d'un fil de masse, celui-ci doit tre reli une masse du systme.

2 L'alimentateur se relie la masse par son cble d'alimentation. Pour garantir un circuit entirement reli la masse, la fiche trois ples du cble d'alimentation doit tre introduire dans une prise avec liaison la terre. Ne pas utiliser de prise d'adaptation qui ne permettent pas la fermeture du circuit de terre.

Mode demploi Notes de Fonctionnement

3

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Notes de Fonctionnement Les pompes Vaclon fonctionnent en ionisant le gaz travers une dcharge confine magntiquement (cellule Penning). Une tension d'environ 3 kV est applique l'anode alors que les cathodes sont maintenues la masse. Un champ magntique axial d'environ 1200 gauss empche que les lectrons arrivent directement l'anode. Un isolant blind isole l'anode du potentiel de terre. Dans le fonctionnement correct de la pompe Vaclon, (avec aimant install), le courant absorb est proportionnel la pression (voir figure suivante).

Figure 1Courbe pression courant

Aprs que le systme a atteint une pression infrieure 10-2 Torr, il est possible de dmarrer la pompe en allumant simplement l'unit de contrle. La mise en marche de la pompe est signale par la prsence d'une absorption de courant par l'unit de contrle.

NOTE Avant de dbrancher le cble de l'alimentateur, toujours attendre au moins 30 secondes aprs la coupure de la haute tension de faon permettre au condensateur de l'alimentateur de se dcharger correctement.

3 Mode demploi Notes de Fonctionnement

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Opration de bakeout Lorsqu'une pompe VacIon n'atteint pas la pression de base dsire et qu'il n'y a aucune fuite, il est ncessaire de procder un "bakeout" du systme afin d'liminer la vapeur d'eau. Cette opration est effectue en chauffant la pompe et tous les lments du systme.

1 Rchauffer le corps de la pompe et le systme l'aide d'un four ou lments chauffants une temprature comprise entre 150 et 250 C (250 C est la temprature maximum supporte par de nombreux cbles de haute tension). Cette temprature est suffisamment leve pour "dgazer" les surfaces de la pompe de la vapeur d'eau sans endommager l'aimant et le connecteur de haute tension. Faire attention que les autres composants du systme supportent la temprature de chauffage. Le chauffage doit tre le plus uniforme possible sur toutes les superficies pour viter que la vapeur ne se recondense sur les parties plus froides, empchant d'atteindre les valeurs de vide leves.

2 Laisser l'unit de contrle allume et contrler que la pression ne dpasse pas la valeur de 5x10-5 Torr (mbar). En cas de dpassement de ladite valeur, teindre l'appareil de chauffage et le rallumer lorsque la basse pression est rtablie. Pour contrler les appareils de chauffage et les valeurs de pression en mode automatique pendant le chauffage, utiliser un relais sensible la pression.

3 Chauffer la pompe Vaclon pendant 8 heures minimum. Une priode de chauffage plus longue est ncessaire lorsque la pompe doit tre utilise avec de fortes charges de gaz ou lorsque l'on dsire des valeurs de vide pouss trs leves (10-9 Torr [mbar]) ou infrieures.

4 Au fur et mesure que la pompe et le systme retournent la temprature ambiante, on doit noter un abaissement de la pression.

5 Les pompes ioniques offrent de nombreuses applications. Elles permettent mme la prparation sousvide d'autres composants. Le passant de haute tension pouvant supporter un nombre limit de cycles de chauffage (jusqu' 400 C) il est conseill de limiter ces cycles le plus possible pour augmenter la dure de vie de la pompe.

Mode demploi Conditions de Fonctionnement Anormales

3

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Conditions de Fonctionnement Anormales

Courant faible Si la valeur de courant lue est infrieure la valeur normale pour la valeur de pression correspondante (voir diagramme prcdent), cela peut tre d une interruption de la dcharge.

Pour vrifier s'il y a eu une interruption de la dcharge, retirer l'aimant et observer le courant rsiduel. Si le courant n'est pas modifi par le retrait de l'aimant, aucune dcharge n'est en cours dans la pompe.

a Pour ramorcer la dcharge, frapper le corps de la pompe l'aide d'un outil en plastique souple ou le rchauffer localement l'aide d'un fer souder. On libre ainsi du gaz de la superficie l'intrieur de la pompe et la dcharge devrait alors reprendre. NE JAMAIS frapper la pompe l'aide d'un outil mtallique.

b Si le champ magntique descend en dessous de la valeur indique sur la plaquette, la dcharge de la pompe et la vitesse se rduiront et la dcharge pourrait s'teindre une pression infrieure 1x10-7 Torr.

Courant lev Si la valeur de courant lue est suprieure la valeur normale pour la valeur de pression correspondante (voir diagramme prcdent), contrler que :

a Le cble de haute tension ne soit pas en court-circuit. Rparer ou remplacer.

b Il n'y ait aucune dispersion l'intrieur de l'unit de contrle. Rparer selon les indications de la notice correspondante.

3 Mode demploi

Conditions de Fonctionnement Anormales

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c Il n'y ait pas de court-circuit sur les isolateurs de support de l'anode caus par des fragments de film de titane. Frapper la pompe comme dcrit au point a) du paragraphe prcdent. Le problme pourrait se rsoudre ainsi.

d Il n'y ait pas d'mission de courant sur les pointes formes sur les cathodes. Appliquer la pompe une tension entre 5 et 6 kV ac avec un courant entre 20 et 30 mA pendant 5 20 secondes pour brler les pointes.

e Il n'y ait pas de revtements de films mtalliques conducteurs sur les isolateurs suite un fonctionnement suprieur 10-2 Torr pendant des priodes prolonges. La pompe ne pouvant tre dmonte, cette condition entranerait une diminution de la dure de vie de la pompe. viter d'utiliser la pompe hautes pressions pendant des priodes prolonges.

Mode demploi Mise au Rebut

3

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Mise au Rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les tiquettes.

Le symbole ci-dessous est appliqu conformment la directive CE nomme "WEEE".

Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communaut europenne) indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures mnagres ou les dchets industriels ordinaires, mais passer par un systme de collecte slective.

Aprs avoir vrifi les termes et conditions du contrat de vente, lutilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif, maison mre ou revendeur, pour mettre en oeuvre le processus de collecte et mise au rebut.

Pour plus dinformations, rendez-vous ladresse:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

3 Mode demploi Mise au Rebut

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Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual

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4 Instructions for Use

Safety Information 44 General Information 45 Installation 47 Control Unit Connection 48 Operating Notes 47 Bakeout Operation 50 Unusual Operating Conditions 51 Low Current 51 High Current 52 Disposal 52 Original Instructions

4 Instructions for Use Safety Information

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Safety Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.

This manual uses the following standard protocol:

CAUTION! The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment.

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.

NOTE The notes contain important information taken from the text.

Instructions for Use General Information

4

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General Information These instructions contain basic information for installing and operating miniature and 2 l/s VacIon Pumps.

The available models are detailed in the following table:

Tab. 1

MODEL P/N Miniature

With 180 Copper Tube 913-0037 With 90 Copper Tube 913-0040 With 3/8 OD 180 Stainless Steel Tube 913-0038 With 3/8 OD 90 Stainless Steel Tube 913-0041 With 3/8 OD 180 Copper Tube, vacuum proc. 913-0049 With 3/8 OD 90 Copper Tube, vacuum proc. 913-0050 Alnico magnet 913-0042

2 l/s With 3/4 OD 180 Stainless Steel Tube 913-0032 With 3/4 OD Kover-glass Tube 913-0034 With 3/4 OD 180 Copper Tube, vacuum proc. 913-0035 With 3/4 OD 180 Stainless Steel Tube, vacuum processed 913-0045 With 3/4 OD 90 Stainless Steel Tube, Tee style 913-0046 With 3/4 OD 180 Stainless Steel Short Tube 913-0047 With 3/4 OD OFHC Copper Tube 913-0052 With 1 1/3 CFF 180 vacuum processed 913-5000 Alnico magnet 913-0011

4 Instructions for Use General Information

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The complete pumping system consists of the VacIon pump, its magnet, and a power supply. These VacIon pump is a pump which operates on the principle of ion gettering in the pressure range from 10-3 Torr to less than 10-9 Torr. A roughing pump is needed to lower the system pressure from atmosphere to below 10-3 Torr.

The pump should be powered by a positive voltage of 3000 3500 Volt (open circuit), direct current supply and the short circuit current of the control unit should match the current drawn by the pump at its maximum operating pressure.

Instructions for Use Installation

4

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Installation During installation, keep the pump and system clean. Avoid touching surfaces which will ultimately be under vacuum. When the VacIon pump is open to the atmosphere, take care to avoid introducing foreign particles, oil, solder flux, or any volatile substances. Before attaching the pump, clean the system thoroughly. Chemical cleaning is the most complete cleaning method for the vacuum system; however, do not attempt it when pockets and crevices exist that will prevent thorough rinsing. Degreasing with an acetone or methanol followed by water-rinsing is usually sufficient.

To achieve maximum pumping speed, connect the pump to the system with a tube that has the shortest length and the largest diameter possible.

For ultrahigh vacuum work, joints should be tungsten inert gas welded, hydrogen brazed, or vacuum brazed. Do not use flux in making joints for ultrahigh vacuum.

Gaskets in the system should be of soft metal such as annealed copper, aluminium, or gold.

After the pump is sealed in place, leakcheck the entire system.

Assemble the magnet to the pump magnet bracket with the mounting screws that are provided.

4 Instructions for Use Installation

48/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

Control Unit Connection

WARNING!

Voltage delivered by control units used with the VacIon pumps are potentially lethal. To operate the pump safely ensure that grounding connection is correctly made.

Connect the control unit to the pump as follows:

1 Ground the pump to the power supply by placing the ground spring over the pump insulator before attaching the high voltage lead. On cables with ground leads, attach the ground lead to a ground lug on the system.

2 The power supply, in turn, is grounded through its power lead. Therefore, to ensure a completely grounded circuit, the threeprong plug on the power supply cord must be inserted in a socket that has a ground connection. Do not use socket convertors that prevent the completion of this ground circuit.

Instructions for Use Operating Notes

4

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Operating Notes VacIon pumps operate as a multiple-cell Penning discharge. A potential of about 3 kV is applied to the anode cell; the cathodes are at ground potential. Electrons are constrained from going directly to the anode by the presence of an axial magnetic field of about 1200 gauss. A self-shielding insulator isolates the anode from ground potential. When the VacIon pump is operating properly (with magnet installed), the current drawn is proportional to pressure (see the following figure).

Figure 1Pressure versus current curve

After the system is rough-pumped to below 10-2 Torr, the pump can be started by simply switching on the VacIon pump control unit. A current draw on the control unit will indicate that the pump dis- charge has started.

NOTE Always wait at least 30 seconds after turning off the high voltage switch before disconnecting the power supply leads. This should allow the power supply output capacitor to discharge adequately.

4 Instructions for Use Operating Notes

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Bakeout Operation When a VacIon pump does not reach the desired base pressure, and there are no leaks, it is necessary to bake the system to remove water vapour. This is done by heating the pump and all the components in the system.

1 Heat the pump body and the system with a bakeout oven unit or heating strips to temperatures between 150 C and 250 C (250 C is the maximum allowable for most bakeable high voltage cables). This temperature is high enough to degas the pump surfaces of water vapour without damaging the magnet and high voltage connector. Note that the system components must be compatible with the bakeout temperature. The heating must be approximately even on all vacuum surfaces or water vapour can recondence on the cooler surfaces preventing achievement of UHV vacuum pressures.

2 Leave the pump control unit on and monitor the pressure. It must never increase above 5x10-5 Torr (mbar); if this value is exceeded, turn the bakeout off and then on again when low pressure is restored. To control the heaters and to monitor to high pressure limit during bakeaout in automatic mode, a pressure-sensitive relay may be used.

3 Bake the VacIon pump for at least eight hours. Longer bakeout periods are recommended when the pump has been used with heavy gas load or when UHV pressure, 10-9 Torr (mbar) or less is desired.

4 As the pump and system cool down to room temperature, a drop in pressure should be observed.

5 Since VacIon pumps can be used in many different applications, some are being used successfully in vacuum processing. The high voltage feedthrough on the VacIon pump, can stand a limited number of high temperature bakeout cycles (to +400 C). Hence, Agilent recommends only a few high temperature bakeouts to +400 C.

Instructions for Use Unusual Operating Conditions

4

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Unusual Operating Conditions

Low Current If the pump current reads lower than normal for the pressure (see the preceding figure), the discharge may have been extinguished.

To check for the pump being "out of strike" (discharge extinguished), remove the magnet and observe the residual current. If the current is the same with and without the magnet in place, no discharge exists in the pump.

a To restart the discharge, tap the pump body with a soft plastic tool, or heat the pump body locally with a small soldering iron. This should liberate surface gas within the pump and restart the discharge. NEVER strike the pump with metal hand tools.

b If the magnet strength is below its rated level, the pump discharge and speed will be reduced and the discharge may extinguish at a pressure below 1x10-7 Torr.

High Current If the pump current reads higher than normal for the pressure (see the preceding figure), look for:

a Breakdown of the connecting high-voltage cable. Repair or replace.

b Ohmic breakdown in the control unit. Repair according to the control unit instruction manual.

c Shorting of anode support insulators, caused by a flake of titanium compound. Tapping the pump, as described in step a) of the preceding paragraph, may correct this condition.

d Field emission current from fine whiskers formed on the pump cathodes. Hi-pot the pump by applying 5 to 6 kV ac at 20 to 30 mA for 5 to 20 seconds.

4 Instructions for Use Disposal

52/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

e Coatings on the insulators caused by operating above 10-2 Torr for extended periods. Since disassembly of the pump is not practicable, this condition must be regarded as a life-limiting factor. Avoid operating the pump at high pressures for long periods.

Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels

The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.

This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale.

For more information refer to:

http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States Agilent Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 - USA Tel.: +1 781 861 7200 Fax: +1 781 860 5437 Toll-Free: +1 800 882 7426 vpl-customerservice@agilent.com

India Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Unit Nos 105-116 First Floor, Splendor Forum, Plot No.-3 , District Centre, Jasola New Delhi-110025 Ph: +91 11 4623 7100 Fax: +91 4623 7105 Toll Free: 18001801517

Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Unit 201, Level 2 uptown 2, 2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya, Selangor, Malaysia Tel : +603 7712 6106 Fax: +603 6733 8121 Toll free: 1 800 880 805 vps-customerservice@agilent.com

Benelux Agilent Technologies Netherlands B.V. Groenelaan 5, 1186 AA Amstelveen The Netherlands Tel: +31 20 547 2000 Fax: +31 20 547 2093

Italy Agilent Technologies Italia S.p.A. Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) - Italy Tel: +39 011 9979 111 Fax: +39 011 9979 350 Toll free: 00 800 234 234 00 vpt-customerservice@agilent.com

Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited 20 Kao-Shuang Road Ping-Chen City Tao-Yuan Hsien, 32450 Taiwan, R.O.C. Tel: +886 3 4959004 Toll free: 0800 018 768 vpw-customerservice@agilent.com

Brazil Agilent Technologies Brasil Avenida Marcos Penteado de Ulhoa Rodrigues, 939 - 6 andar Castelo Branco Office Park Torre Jacarand - Tambor Barueri, Sao Paulo CEP: 06460-040 Toll free: 0800 728 1405

Japan Agilent Technologies Japan, Ltd. 8th Floor Sumitomo Shibaura Building 4-16-36 Shibaura Minato-ku Tokyo 108-0023 - Japan Tel.: +81 3 5232 1253 Fax: +81 3 5232 1710 Toll-Free: 0120 655 040 vpj-customerservice@agilent.com

UK and Ireland Agilent Technologies UK, Ltd. 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton, Oxford OX5 1QU UK Tel.: +44 (0) 1865 291570 Fax: +44 (0) 1865 291571

China Agilent Technologies (China) Co. Ltd No.3, Wang Jing Bei Lu, Chao Yang District Beijing, 100102, China Tel: +86 (0)10 64397888 Fax: +86 (0)10 64391318 Toll free: 800 820 3278 vacuum.cnmarketing@agilent.com vpc-customerservice@agilent.com

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Mexico Agilent Technologies Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel.: +52 5 523 9465 Fax: +52 5 523 9472

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Yes, we have the User Manual for Agilent 2 I/s as well as other Agilent manuals. All you need to do is to use our search bar and find the user manual that you are looking for.

The User Manual should include all the details that are needed to use a Agilent 2 I/s. Full manuals and user guide PDFs can be downloaded from Manualsnet.com.

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You can download Agilent 2 I/s 9130045 Vacuum User Manual free of charge simply by clicking the “download” button in the upper right corner of any manuals page. This feature allows you to download any manual in a couple of seconds and is generally in PDF format. You can also save a manual for later by adding it to your saved documents in the user profile.

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